產品描述
【產品尺寸】
1、80mm≤產品長度≤300mm(四流道)
2、30mm≤產品寬度≤100mm(四流道)
3、產品厚度 0.1~2mm(可定制)
【設備精度】
+/-0.02mm
【設備節拍】
以清洗時間10s為例,UPH≥450PCS
【RF頻率】
13.56MHz (1KW)(標配國產知名品牌)
【設備尺寸】
1680mm * 1100mm * 1600mm
【清洗能力強】
• 清洗后水滴角為 15°~ 35°【產品表面清洗均勻性好】
• 采用片式清洗方式,表面清洗均勻,無死角
關鍵詞:
自動化設備
半導體設備
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